TY - BOOK AU - Htoo,Maung S. TI - Microelectronic polymers SN - 0824779908 AV - TK7871.15P6 M53 PY - 1989/// CY - New York PB - M. Dekker KW - Polímeros KW - Microlitografía KW - Materiales KW - Microelectrónica ER -