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Dorey, Robert A.,

Ceramic thick films for MEMS and microdevices / Robert A. Dorey - xviii, 191 páginas : ilustraciones - Micro and nano technologies series .

ISBN: 9781437778175 (empastado, cubierta dura) 1437778178 (empastado, cubierta dura)

Subjects--Topical Terms:
Circuitos de películas gruesas
Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción
Nanoelectrónica

LC Class. No.: TK7871.15F5 / D67

Dewey Class. No.: 621.3815