Universidad Nacional Autónoma de México
Facultad de Química
Catálogo de la Biblioteca de Estudios Profesionales, Anexo Metalurgia

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Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization : fabrication of next-generation nanodevices / Ungyu Paik, Jea-Gun Park

Por: Paik, Ungyu [autor]Colaborador(es): Park, Jea-Gun [autor]Tipo de material: TextoTextoEditor: Boca Raton, Florida : CRC Press/Taylor & Francis Group, c2009Descripción: xiii, 191 páginas, [14] páginas de láminas : hojas (algunas a color)Tipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9781420059113 (encuadernado en tela : papel alcalino); 1420059114 (encuadernado en tela : papel alcalino)Tema(s): Pulido químico mecánico | Nanopartículas | NanoelectrónicaClasificación CDD: 621.3815/2 Clasificación LoC:TK7874.84 | P35
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