Paik, Ungyu, <br/><br/>
Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization :  fabrication of next-generation nanodevices / 
Ungyu Paik, Jea-Gun Park 
 - xiii, 191 páginas, [14] páginas de láminas :  hojas (algunas a color) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9781420059113 (encuadernado en tela : papel alcalino) 1420059114 (encuadernado en tela : papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Pulido químico mecánico<br/>Nanopartículas<br/>Nanoelectrónica
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7874.84  / P35 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2