TY  - BOOK
AU  - Paik,Ungyu
AU  - Park,Jea-Gun
TI  - Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization: fabrication of next-generation nanodevices 
SN  - 9781420059113 (encuadernado en tela : papel alcalino)
AV  - TK7874.84 P35
U1  - 621.3815/2 22
PY  - 2009///
CY  - Boca Raton, Florida
PB  - CRC Press/Taylor & Francis Group
KW  - Pulido químico mecánico
KW  - Nanopartículas
KW  - Nanoelectrónica
ER  -