Dorey, Robert A., <br/><br/>
Ceramic thick films for MEMS and microdevices / 
Robert A. Dorey 
 - xviii, 191 páginas :  ilustraciones 
 - Micro and nano technologies series .
<br/><br/><label>ISBN: </label>9781437778175 (empastado, cubierta dura) 1437778178 (empastado, cubierta dura) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Circuitos de películas gruesas<br/>Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción<br/>Nanoelectrónica
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.15F5  / D67 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815