TY  - BOOK
AU  - Dorey,Robert A.
TI  - Ceramic thick films for MEMS and microdevices
T2  - Micro and nano technologies series
SN  - 9781437778175 (empastado, cubierta dura)
AV  - TK7871.15F5 D67
U1  - 621.3815 23
PY  - 2012///
CY  - Waltham, Massachusetts
PB  - William Andrew/Elsevier
KW  - Circuitos de películas gruesas
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Diseño y construcción
KW  - Nanoelectrónica
ER  -