Bhattacharyya, Bijoy,
Electrochemical micromachining for nanofabrication, MEMS and nanotechnology /
Bijoy Bhattacharyya
- 270 páginas : ilustraciones
9780323327374
Sistemas microelectromecánicos
Nanotecnología
Sistemas microelectromecánicos
TJ1191.5 / E54
620.5