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_a621.3815/2 _222 |
| 100 | 1 |
_aPaik, Ungyu, _eautor |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aNanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization : _bfabrication of next-generation nanodevices / _cUngyu Paik, Jea-Gun Park |
| 264 | 1 |
_aBoca Raton, Florida : _bCRC Press/Taylor & Francis Group, _cc2009 |
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| 300 |
_axiii, 191 páginas, [14] páginas de láminas : _bhojas (algunas a color) |
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| 336 |
_atexto _2rdacontent |
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| 337 |
_asin medio _2rdamedia |
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| 338 |
_avolumen _2rdacarrier |
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| 700 | 1 |
_aPark, Jea-Gun, _eautor |
|
| 999 |
_c2572 _d2572 |
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