TY  - BOOK
AU  - Irene,Eugene A.
TI  - Surfaces, interfaces, and thin films for microelectronics
SN  - 9780470174470
AV  - QD506 I74
U1  - 621.381 22
PY  - 2008///
CY  - Hoboken, New Jersey
PB  - Wiley-Interscience
KW  - Química de superficies
KW  - Interfases (Ciencias físicas)
KW  - Películas delgadas
KW  - Microelectrónica
KW  - Materiales
ER  -